AI概要
【事案の概要】 本件は、原告（株式会社東京精密）が、被告（浜松ホトニクス株式会社）を特許権者とする特許第3990711号（発明の名称「レーザ加工装置」）について特許無効審判を請求したところ、特許庁が請求不成立の審決をしたため、原告がその取消しを求めた審決取消訴訟である。本件特許は、半導体基板の内部にレーザ光を集光して切断の起点となる改質領域を形成するレーザ加工装置に関するものであり、赤外透過照明により半導体基板内部の改質領域を撮像可能な撮像素子を備える点に特徴がある。原告は、主引用文献である甲1（特開昭53-114347号公報）に記載された発明に基づき、本件発明1及び2は進歩性を欠くと主張した。 【争点】 主な争点は以下の2点である。 （1）相違点1の容易想到性：甲1発明が半導体ウエハー表面に溝を形成する技術であるのに対し、本件発明が半導体基板内部に改質領域を形成する構成を採用している点について、甲3の1～5等に基づく容易想到性が認められるか。 （2）相違点2の認定及び容易想到性：甲1発明の「監視装置としての赤外線イメージ変換装置」が本件発明の「改質領域を撮像可能な撮像素子」に相当するか、また、当該構成の容易想到性が認められるか。 【判旨】 知財高裁は、原告の請求を棄却した。 相違点1について、裁判所は、甲1発明はレーザ光線により半導体ウエハー表面に溝を形成する技術であるのに対し、甲3の1～5に記載された技術は加工対象物の内部に改質領域を形成する技術であり、加工の位置も切断の起点も異なるから、後者を前者に適用する動機付けがあるとはいえないと判断した。原告が主張する割断に関する技術常識についても、加工対象物の表面に溝を形成することと内部に改質領域を形成することは技術として質的に異なるとして排斥した。 相違点2について、裁判所は、甲1発明における赤外線イメージ変換装置は半導体ウエハー表面の素子の位置確認のためのものであり、内部の撮像を想定したものではないとして、相違点2の存在を肯定した。そして、甲1発明には半導体ウエハー内部の改質領域が存在しない以上、存在しない改質領域を撮像するよう構成する動機付けは存在しないと判断した。なお、本件審決が構成F及びGの技術的意義として挙げた、基板厚さ方向における改質領域の位置や大きさの確認・調節に関する説示については、本件明細書にそのような技術的意義を示唆する記載はなく相当でないとしつつも、結論に影響しないと付言した。