特許取消決定取消請求事件

【事案の概要】 本件は、「ウエハ検査装置」に関する特許（特許第6283760号）を有する原告（東京エレクトロン株式会社）が、特許庁による特許取消決定の取消しを求めた知的財産高等裁判所の訴訟である。原告は平成29年に分割出願を行い、平成30年に特許権の設定登録を受けたが、株式会社東京精密が特許異議の申立てを行った。特許庁は、本件発明が引用発明（再公表特許第2011/016096号）及び甲2文献等に記載された事項に基づき容易に発明できたものであるとして、進歩性欠如（特許法29条2項）を理由に特許取消決定をした。本件発明は、半導体ウエハの検査装置において、複数の検査室にテストヘッドとスライドレールを備え、テストヘッドを整備空間側に引き出してメンテナンスを行う構成に特徴がある。従来、テストヘッドは重量が約70kgfあり、スライドレールで支持されるため引き出し方向以外への移動が困難で、整備用台車との位置合わせに問題があった。 【争点】 主な争点は、本件発明と引用発明との相違点に係る構成（検査室が整備空間側にテストヘッドを引き出すスライドレールを備え、テストヘッドを引き出す構成）の容易想到性である。被告（特許庁長官）は、甲2文献や乙1〜3に基づき、メンテナンス対象物をスライドレールにより引き出す構成は周知技術であり、引用発明に適用することは容易であると主張した。これに対し原告は、引用発明にはテストヘッドを検査室外に引き出す示唆がなく、プローブカードとテストヘッドでは形状・構造・重量が大きく異なるため、プローブカードの引き出し構成をテストヘッドに適用することは容易に想到できないと反論した。 【判旨】 知財高裁は、原告の請求を認容し、特許取消決定を取り消した。裁判所は、甲2文献及び乙1〜3のいずれにも、検査室に収容されたテストヘッドを整備空間側にスライドレールで引き出すという相違点に係る構成の記載がないことを認定した。テストヘッドの重量は25kgから300kgを超えるものまで知られており、プローブカードとは重量や大きさにおいて明らかに相違するため、プローブカードに関する記載から、テストヘッドを含む対象物一般について引き出し構成が周知技術であったとはいえないと判断した。さらに、引用発明ではテストヘッドのメンテナンスは背面扉を開けて行うものとされ、背面扉はメンテナンスが容易な位置に配置されているため、テストヘッドをスライドレールで引き出す構成を採用する動機付けも見いだせないとした。以上から、本件発明は引用発明等に基づいて容易に発明できたとはいえず、進歩性に関する特許庁の判断に誤りがあると結論づけた。